統(tǒng)一信息編碼：*******002

項(xiàng)目編號(hào)：***-****

采購(gòu)階段：***

需求分類：***

專業(yè)領(lǐng)域：***,先進(jìn)材料與制造,可靠性/測(cè)試性/維修性

預(yù)算金額：**0萬(wàn)元

主要內(nèi)容

一、需求內(nèi)容：
（一）需求描述
Chuck-主體組件為項(xiàng)目運(yùn)動(dòng)臺(tái)中較為關(guān)鍵零部件，其定制加工的技術(shù)協(xié)議已通過(guò)研發(fā)中心組織的技術(shù)評(píng)審，經(jīng)過(guò)近年來(lái)的調(diào)研及供應(yīng)商開(kāi)發(fā)，現(xiàn)國(guó)內(nèi)已有多家供應(yīng)商具備此項(xiàng)任務(wù)的承接能力，總體技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)可控。尺寸：****344*403，材料：***
（二）技術(shù)參數(shù)
1.精度指標(biāo)：***、形位公差、粗糙度、鍍層、氣路密封等要求，詳見(jiàn)圖紙。零件交付時(shí)，除提供加工過(guò)程檢驗(yàn)和最終檢驗(yàn)結(jié)果之外，還需要提供詳細(xì)的檢驗(yàn)原始數(shù)據(jù)，例如，三坐標(biāo)打點(diǎn)數(shù)據(jù)、干涉儀成像圖、輪廓儀成像圖，光膠面粗糙度，光潔度等。
2.光膠面指標(biāo)：***-主體，XY光柵尺定位，Y光柵尺定位，3種零件光膠面滿足圖紙標(biāo)注的平面度、局部平面度、粗糙度的同時(shí)，還需要滿足光潔度要求：***-PRF-13830B:***/2。
3.邊緣缺陷要求：***-主體長(zhǎng)邊區(qū)域的鍍層和局部面型缺陷距離Chuck最外側(cè)邊緣≤1mm，短邊缺陷邊緣≤2mm。需要提供鍍層的厚度、方塊電阻和鍍層劃痕檢驗(yàn)報(bào)告；吸附凸點(diǎn)1/吸附凸點(diǎn)2，首先保證在零件的上表面凸點(diǎn)區(qū)域均勻鍍TiN，四周邊框可以不鍍，S區(qū)域不鍍。詳細(xì)要求參見(jiàn)零件圖紙。
4.通用質(zhì)量要求
1） 材料 進(jìn)口微晶玻璃，推薦肖特
2 ）材料物理參數(shù) 密度2.53g/cm3，楊氏模量E=90.3GPa，線性膨脹系數(shù)≤0.02×10E-6/K，泊松比0.243
3） 零件外觀 零件加工面光滑、潔凈，無(wú)污垢，無(wú)磕碰或瑕疵等；零件一般崩邊≤0.05mm；鍍膜膜層無(wú)起皮、裂紋、脫膜和灰霧，無(wú)水漬和擦痕等。
4） 鍍層壽命 ＞7年，鍍膜膜層無(wú)起皮、裂紋、脫膜、灰霧等現(xiàn)象。
（三）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
1.尺寸檢驗(yàn)量具及方法
平面度/平行度/垂直度/位置度 ≥2μm 三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
平面度 ＜2μm，局部50nm 干涉儀/LUPHOScan測(cè)量?jī)x/3D 輪廓儀
粗糙度 Ra0.0005，Ra0.0008 白光干涉儀
厚度較小零件平行度 5μm 干涉儀透射波前/三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
2.基準(zhǔn)面D檢測(cè)
使用專用支撐工裝，多點(diǎn)支撐，將粘接后的Chuck-主體豎直擺放，如下圖所示。使用設(shè)備檢測(cè)基準(zhǔn)面D的面型。正反兩次檢測(cè)基準(zhǔn)面D，即C面朝上檢測(cè)一次，CT面朝上檢測(cè)一次。兩次檢驗(yàn)的基準(zhǔn)面D的面型變化趨勢(shì)相同，面型數(shù)值相近，且基準(zhǔn)面D關(guān)鍵區(qū)域的整體面型≤800nm，局部面型≤30nm。非關(guān)鍵區(qū)域面型與圖紙保持一致。
3.外觀要求及檢測(cè)手段
零件表面清潔，無(wú)裂紋、無(wú)磕碰、無(wú)附著 光學(xué)表面檢查燈
零件崩邊 電子顯微鏡+目測(cè)
鍍層劃痕，色差 電子顯微鏡+目測(cè)
方塊電阻 方塊電阻測(cè)試儀
鍍層厚度 膜厚測(cè)試儀
光膠面無(wú)磨料殘留 電子顯微鏡
（四）技術(shù)及售后服務(wù)
1、自雙方驗(yàn)收合格之日起，提供1年質(zhì)量保證服務(wù)；
2、在使用中，如果發(fā)生問(wèn)題，需乙方在接到甲方通知后2小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng)。
二、資格要求
需具備一定的技術(shù)研發(fā)和制造實(shí)力；
具備完善的產(chǎn)品測(cè)試能力，有必要的檢測(cè)設(shè)備及相關(guān)手段；
注冊(cè)營(yíng)業(yè)執(zhí)照實(shí)繳不能為0；具備ISO9001質(zhì)量認(rèn)證體系證書等
三、線下對(duì)接聯(lián)系人：
聯(lián)系人：***
聯(lián)系電話：****713

可接受驗(yàn)廠，需具備加工及制造能力、設(shè)計(jì)能力等。具有質(zhì)量體系認(rèn)證證書。具有較為齊全的測(cè)量設(shè)備。

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